烧结方法 | 制备原理 | 优点 | 缺点 |
反应烧结 | 把Si粉或Si粉与Si3N4粉的混合物成型后进行预氮化，再在1400℃左右完全氮化 | 烧结无收缩，使用于制造形状复杂，尺寸精确的零件，成本低，不需要添加剂 | 氮化时间较长 |
热压烧结 | 对氮化硅粉末和烧结助剂在高温下单向加压烧结 | 所得陶瓷与反应烧结相比，强度高，密度大，致密度高，制造周期短。 | 制造成本高，烧结设备复杂，机械加工困难 |
常压烧结 | 高纯氮化硅粉末与少量烧结助剂混合，通过烧结、成型等工序制备 | 可获得形状复杂，性能优良的陶瓷 | 烧结收缩率较大，一般为16-26%，制品易开裂变形 |
气压烧结 | Si3N4压坯在5-12Mpa的氮气在1800-2100℃下进行烧结 | 所得陶瓷致密度高，高韧性，高强度，可制备形状复杂的制品，适合大规模生产 | 烧结温度高 |
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