物理专业技术工作总结(精选多篇)

第一篇：初中物理信息技术工作总结

初中物理信息技术工作总结信息技术在课堂教学中的应用已经被广大物理教师所接受，但应用的形式过于单一，根据教育部颁布的《基础教育课程改革纲要》，信息技术与学科课程的整合，不是简单地把信息技术仅仅作为辅助教师教学的演示工具，而是要实现信息技术与学科教学的“融合”。因此，信息技术与物理学科整合的关键就是如何有效地应用信息技术的优势更好地达到课程学习的目标，培养学生的创新精神和实践能力。

虽然这是现代信息技术用于课堂教学的最初表现形式，学生在学习过程中仍处于被动地位，但是在实际的课堂教学中是完全必要的。尽管我们提倡探究学习、发现学习，教师的讲解也是不能全盘否定的，学生在学习过程中并不总是处于主动的发现地位，有些知识还得通过接受式学习获得。

例如，在学习《眼睛》时，利用计算机课件提供的模拟环境，让学生感受晶状体调节的功能。利用眼睛视物原理的动画图像，将春华秋实集眼睛看物体与凸透镜成像进行类比。另外，在配镜环节实验探究只能获取一个粗略的认识，而通过互动课件的模拟配镜，可清晰地观察放入不同的透镜光路发生变化的动态过程。当然，教师在设计教学过程时，应该制作或选择优秀的适合的教学软件，让学生在学习时，甚至在看、听时有兴趣，接受到的信息是通过其他媒体难以在课堂上传输的。如果信息技术的使用达不到投影、幻灯、录像的教学效果，或者只是简单地代替了投影、幻灯、录像等媒体，成为教学的一种装饰或点缀，甚至为应试教育服务，使用就毫无意义了。

第二篇：物理教师个人专业技术工作总结

自任现职以来，怀着对物理教学的无限热爱，带着满腔热情，始终如一地在物理教学工作中潜心钻研，努力探索，紧跟时代步伐，与时俱进，在平凡的岗位上默默地奉献着青春和汗水，本人自任现职以来，尽职尽责，努力钻研，站在时代的高度对自己提出了严格的要求。作为新时代的一名中学物理教师，既掌握了较深厚的基础知识，又具备了较强的教学实践能力，不断提高自己的业务文化水平，适应了新的时代对教师提出的新的要求。边工作边研究，针对实际，确定课题，做有意义的教学探索，致力于教学改革，较大幅度的提高了教学质量，成为了一个研究型的物理教师。

自任现职以来，工作成绩突出，高质量的完成了教学任务，实现了各项教学目标，以课堂教学为主渠道，实施了素质教育，既精准地向学生传授了物理知识，又培养了学生的自学能力和实验能力。

本人热爱物理教学工作，对工作充满热情，对教学充满浓厚的兴趣，不断地探索新式教学方法，全身心的投入教学工作。心中总是装着学生，关注学生的成长。寓教于乐，乐在其中，把教物理作为自己人生价值的体现。

本人掌握了深厚的物理知识功底，也对物理学科有着深刻的认识。物理知识与人类生活密切相关，是人类文明的重要组成部分。工具性与科学性的统一，是物理课程的基本特点。物理学科性质决定了这门课程具有多重功能和实用价值。教物理时必须面向全体学生，使学生获得基本的物理知识和概念。还要培养学生的自学能力和实验精神，指导学生正确的理解和运用物理知识去解决生活中的实际问题。

在新课标理念下，本人深入的学习了《当代教育理论》、《教育新理念》、《现代教育技术》、初中物理《课程与教学方法改革》等专业理论基础知识，深入领会《物理课程标准》的精髓，为自己的物理教学工作打下坚实的基础，也为自己的课堂教学设计找到了很好的理论依据。同时，也给自己敢于尝试教研、教改工作树立了信心。

随着物理教学改革的逐步推行，在新课程理念、新课标思想的感召下，本人在课堂教学中，做了以下几方面的研究和探索，效果显著。

(好范文网：www.hAoWoRd.com)

一、把教学重心落在学生身上，使学生成为学习和发展的主体。新课标下的物理教学倡导学生通过自己的实验去获得知识，以求在此过程中有独特的体验和对物理概念独特的理解。教学中我不断调整自己的角色和行为，使自己成为学生发展的引导者和促进者，给学生动手实际操作的机会，参与到获得知识的过程中。。

二、强化学生自主学习的意识，培养学生自主学习的意识和习惯。在课堂教学中，本人为学生创设良好的自主学习情境，尊重学生的个性差异，鼓励学生选择适合自己的学习方式，让学生在自主的前提下，合作讨论、相互补充，自己去参与获得知识的过程。

三、本人在教学中，关注学生的基本素质的训练和培养的同时，更重视开发学生的创造潜能，培养学生主动探究的能力和勇于创新的精神，促进学生可持续发展。本人在任毕业班物理课时发现，学生在解答实践题时，表现得很拘谨，或很盲目，有的甚至不敢答、不会答。于是，我以新课标为宗旨，鼓励学生进行大胆地“创造性尝试”。要求学生在熟读题目的基础上，主动积极的思维，表述自己的思考过程，加深理解，做到有所感悟和思考，让学生多角度地畅谈自己的收获，获得的思想启迪，享受到的乐趣。也可以对题目内容提出质疑，还可以联系社会生活拓展开去，经过几年来师生的共同摸索和实践，我所任教班级的物理成绩有了很大的提高。

四、在课堂教学中，重视对学生的情感、态度、价值观的正确导向，为学生成为社会高素质的青年打下良好的基础。本人在课堂上不但引导学生学习知识、培养能力，而且把培养学生高尚的道德情操和健康的审美情趣，教育学生形成正确的价值观和积极的人生态度，巧妙的融于教学内容当中。

本人在教学的同时积极参加教研、教改实践活动，在活动中认真钻研专业理论知识，深入研究教材，结合学生实际探索新教法，并虚心向教学经验丰富的教师学习，把先进的教学手段，巧妙的运用于课堂教学中，教学效果显著。2014.6课题研究成果《物理学科中自学能力的培养》荣获盟级教育科研成果壹等奖。

本人还在工作之余认真总结经验教训，把经验教训形成理论，撰写出教学论文一篇。2014年撰写的论文《利用“信息”激发学生探究物理的活力》获区级壹等奖。

一分耕耘一分收获，辛勤的汗水换来了令人可喜的成绩。本人的教学成绩优秀，在历届中考、统考中列在全县名列前茅。

面对今天取得的成绩，本人并没有满足。我深知，这只是我教学生涯的开始，今后的路还很长，任务更艰巨。本人将继续努力，不断接受新思想、新理念，探索新的教学方法，提高自己的思想修养和文化素质，与时俱进，默默奉献，做一名适应时代发展的优秀教师。

第三篇：物理专业技术定级转正工作总结

物理专业技术定级转正工作总结

时光如水,岁月如歌，匆匆而过，眨眼功夫，一年见习期满了。在学校领导和同事们的热心支持与帮助下，我顺利的完成了见习期的工作，积极完成学校布置的各项任务。初为人师的一年里，我庆幸自己能走上自小梦寐以求的三尺讲台，实现了由学生向教师过度的角色转变，融入了学校学教师集体的大家庭中，从中感悟到了师风师德的重要，懂得了教师的责任，同时也促使我无论是学习能力、教学能力还是专业水平都得到较明显的提升。作为一名本着颗要对得起学生教育好学生的教育之心，以师德、师爱、师智、师能来要求自己，以爱播撒，用爱耕耘，让孩子身心健康发展。回顾这一年的工作，既忙碌，又充实，有许多值得总结和反思的地方。现将一年来的工作做一个总结，总结过去，寄望明天工作干得更好、更为出色。

一、 思想方面： 作为一名中国共产党党员教师我一直积极参加政治学习，关心国家大事，坚持四项基本原则，拥护党的各项方针政策。团结同志，教育的目的明确，态度端正，钻研业务，勤奋刻苦，关爱学生，为人师表，有奉献精神。并且积极参各级各项活动，提升自己的业务能力。

二、教学方面：作为一名物理教育教学工作者来说，加强自身业务水平，提高教学质量无疑是至关重要的。总结教学经验，改进教学方法，努力创设良好的课堂情境，激发学生的学习热情，提高教育教学质量，我在这些方面也做了不少努力：

（1）课前准备：把握物理特点，专研备好物理课。物理是门特殊趣味性较强的学科，为高效上好每一堂课，每次备课都结合学科特点积极参加教研组的教研活动，认真钻研教材、教参，学习好课程标准，虚心向经验丰富的老师学习、请教。力求吃透教材，找准重点、难点。为了上好一节课，我上网查资料，集中别人的优点，确定自己的教学思路。

（2）课堂上：把握物理特点，上好每一堂课。我在教学当中，非常重视物理实验的启发作用，把物理知识与生活实践紧密联系在一起，注意教学内容的价值取向，同时也尊重学生在学习过程中的独特体验。上课时注重学生主动性的发挥，着重培养学生的动手实践能力，在动手中发现问题，发散学生的思维,注重综合能力的培养,有意识的培养学生的思维的严谨性及逻辑性,在教学中提高学生的思维素质。组织好课堂教学，关注全体学生，注意信息反馈，调动学生的学习积极性，创造良好的课堂气氛，课堂尽可能多提问，精心设问让更多的学生处于积极思考问题的状态中，激发了学生学习的积极性和主动性。

（3）课后：认真及时批改作业，注意听取各类学生的意见，及时了解学生的学习情况和思想状况，对学习中存在的问题及时处理，我相信，只要我和学生共同努力，每天进步一点点，最终一定会取得不错的成绩的。

三、其他方面：把握听课机会。作为新教师的我们最大弱项就是课堂教学把握不好，所以，为较好的上好课我常常向老教师学习课堂教学的方法以及模式，努力探索适合自己的教学模式注重教育理论的学习,注意把一些先进的理论应用于课堂,做到学有所用。一年来，我不仅细心听好自己同事的实验课，而且抓住外出听课的机会，详细地做好笔记，学习借鉴他们的好的方法、举措，然后用来规范提升自己的课堂教学。生活中团结师生，相处较为融洽。

一年以来，我始终坚持意教育好每一位学生为己任，不记个人得失，任劳任怨，也从中获益匪浅。俗话说：“严师出高徒”，我始终坚持严格要求学生，把师爱变得更高尚。踏上讲台以来，我一直认为爱心是一把钥匙，教师带好班级的关键。用热心、真心、耐心、爱心的火焰点燃学生的心灵之光，在学生的心中树立感情真挚的朋友形象，积极深入学生心灵了解关心他们，正确指引他们成长。 一年的工作与学习，不断的探索，我自感收获颇丰但亦有不足之处， 在今后的工作和学习中，经过磨练，我会改善自己的不足，更严格要求自己，努力工作，发扬优点，以着“生命不息，奋斗不止”不断勉励自己。越做越好，全面而不失风格。守护祖国的花朵的教师是一棵棵大树，向上吸收着养分，向下也滋润着身边的学生。我还只是一棵棵小树，只有翠绿的枝桠，没有硕大的绿荫，成长在栽培我的这中学。也许现在的我还不具备陶行知的爱满天下，但我会努力做美的耕耘者，美的播种者。希望用美的阳光普照，用美的雨露滋润，让学生的心田绿草如茵，繁花似锦

第四篇：2014-2014学年下学期工作总结物理科学技术学院2014级辅导员朱慧

前行

2014—2014学年下学期工作总结

物理科学技术学院2014级辅导员朱慧

进入大学辅导员队伍到现在已快三年了，在工作期间，自己的业务知识不断成长起来、工作有条不紊的开展,这与学校同事的指导和关心是分不开的。我在日常的工作中，学到并掌握了许多知识,对辅导员的工作有了更深刻的了解，现将一年的工作总结如下：一、2014级学生概况

我所接手管理的是云南大学物理科学技术学院2014级的学生，今年大二。本级的学生分别属于物理和材料两个系的五个不同的专业，共220人。其中有男生160人，女生60人，截至目前为止本级有学生党员14人，正式党员3人，预备党员11人，其他同学也全部交上入党申请书。

二、主要工作情况

（一）做好学生的思想政治工作

高校是培养社会主义建设事业中坚力量的教育基地。在平时的学生工作中，我通过思想政治工作来帮助和解决学生在成长过程中的烦恼、困惑和迷茫等问题，并引导他们树立正确的人生观、价值观。大学时间相对充裕，学生们各方面的积极性都很高，他们需要一个舞台来表现自己，展示自己。因此我们在加强思想政治学习的同时，开展多种活动丰富学生生活，展示学生才华。我所带的2014级是大二的学生，总体趋于稳定，对于即将踏入社会的现实，很多人迷茫不知所措，他们更倾向于自己的实际问题比如考研、就业。这一时期学生的思想政治工作，本着少而精。小而精的原则，根据学生不统一的时间安排，减少统一集体活动的次数，减少理论和政策学习，而是把这些融入到大家普遍关注的问题上，比如今年云南的旱灾、玉树的地震、上海世博会、大四学生的就业，考研人数的变化等，以一种现实灵活的方式达到教育的目的。

（二）以心理健康教育为突破口，进一步了解、关心学生

现在的学生心理成熟早、知识面广，但是心理障碍的发生率高，各类心理异常问题的比例日趋上升。学校和学院各个层面对学生的心理健康教育尤为关注。通过问卷调查，发现学生中出现较多的心理问题有偏执型人格、学业困难、焦虑、抑郁、心理危机。专家分析，人格偏执的大学生往往对人持有偏见，把别人的各种态度都视为敌对行为；学业困难的同学虽然原因各异，但一般都会伴有逃避困难、焦虑、缺乏行动力等问题；患有焦虑症的同学往往会夸大事实，过分担心将来的事情，觉得自己的身心会受到威胁；而患有抑郁症的同学常常表现为对自己、对前途、对周围世界抱有负面性认识，自我轻贱；而有强迫思维特点的同学常常会对一切都不放心、总怕自己的行为不合适、穷思竭虑。对于心理有问题的学生，我根据不同的情况从不同的侧面指导，平时多给其进行心理疏导，帮助他们分析暂时失利的原因，坚定其意志，挖掘他们的优点并及时给以鼓励。

（三）健全贫困生资助体系，完善运行机制

贫困生是物理学院学生中一个较大的群体，08级有220人，贫困生就有107人，占全集人数的49%。如何能够保证贫困学生顺利完成学业也是我们的工作重点之一。多年来，学院始终高度重视贫困生工作。首先，根据学校的相关文件，通过各班级贫困生认定小组的认定建立了贫困生档案。在档案里如实记载了贫困生的个人情况和家庭经济情况。其次，了解基本情况之后，通过各种资助政策推进助困育人工作的科学化和规范化，逐步形成了以国家

和生源地助学贷款、勤工助学为主，以奖学金、助学金、困难补助为辅的全方位助困育人的服务体系，有效地帮助了贫困学生顺利完成学业，推动了和谐校园建设。

1、国家奖助学金。学校坚持公开、公平、公正原则，加大对优秀贫困学生的奖励力度和生活伙食补助的发放。今年08级，有1名同学获国家奖学金，4名同学获国家励志奖学金，2名同学获省政府奖学金，4名获省励志奖学金，45名同学获校级奖学金，76名同学获国家助学金。

2、国家和生源地助学贷款。今年我级已有26个同学成功办理国家助学贷款加上去年的41个，已有67名同学成功办理国家助学贷款。还有8名同学成功办理了生源地助学贷款。保证了贫困生的正常学习和生活。

3、勤工助学。学校努力为家庭经济困难学生拓展勤工助学渠道。开学初，通过收集阅读贫困生的申请，并根据各个同学的性格特点和工作能力，按照学校的岗位安排，分别让他们负责宿舍值班、打扫卫生、图书馆勤工、校医院勤工、帮助教务办公室整理材料等十个岗位的工作。

4、专项困难补助。为了使我院经济困难学生安心学习，帮助他们顺利完成学业，学院对他们给予适当的困难补助。如临时困难补助。

（四）以学生的成长、成才为目标，积极开展班级工作

1、强化学习意识，加强学风建设。作为学生，其主要任务就是学习。日常工作中，我不仅要求他们学好专业知识、基本技能，还注重培养学生的语言表达、人际交往、为人处事等方面能力。在增强班级学风的同时，让学生意识到这些知识对于步入社会的必要性与重要性。

2、以党员发展为契机，培养一批优秀的学生干部队伍。优秀的学生干部是班主任的好帮手，同时也是引导班级工作走向成功的关键，在班级工作中，学生干部着实起到榜样作用。开学初，班委进行了重新调整。这一学期来，他们总体上适应了学生工作要求，心往一处想，劲往一处使，能够带领全班同学为建设良好的班风学风而努力。另外，在今年5月份，各班级分别向党组织推荐了一名积极要求上进的同学作为发展对象。为此，我利用班会给学生干部提出了更高的要求：在各个方面都要以身作则，率先垂范，争当楷模。作为辅导员，我能够与学生之间建立有效的信息沟通渠道，通过全体学生班会、班委会、走访宿舍、与学生个别谈心等方式，及时掌握了解学生的思想、生活动态，加强与他们的沟通交流，真正做到班级的各项事务“公平、公正、公开”。

3、关注班级后进生，对他们进行引导教育。对成绩在班级排名靠后和学分不过半的同学给予特别关注。针对他们成绩落后的原因，我多次找他们谈心，帮他们树立学习的目标、建立学习的信心，消除其心理障碍与自卑感；抓住各种机会，激发他们的兴趣；坚持正面激励为主,表扬与批评合结合,做好后进生的教育转化工作。

（五）长期进行安全教育

安全教育是我们要长期进行的一项工作，虽然学生都已经大二，但仍要时时刻刻提醒学生。通过班会和主题教育，进行消防安全、交通安全、财产安全、人身安全等专门的教育。每次放假都提醒学生在回家和返校途中提醒学生要时刻注意自身财产、人身安全。

（六）日常管理工作

日常管理工作是辅导员工作的一个很重要的部分，只有将学生们的日常工作管理好，才能保证学生们的正常学习，也才能保证教学工作的正常开展。这学年我重点从以下几个方面做了工作：

1、 定期到宿舍查寝。

宿舍是学生在大学内停留时间最长的地点之一，也是学生之间交流的场所，许多矛盾和问题也由此产生。不定期到宿舍查寝，这样不仅能够让我尽快地认识了每一个学生，拉近了彼此的距离，还能就近回答同学们的疑惑，解决学生的问题和矛盾。

2、完善学生信息

在基本信息的基础上，我按性别、班级、成绩、获奖学金种类、生源地、是否是贫困生、是否是城镇人口等标准将学生信息进一步细化，做成新的信息登记表。这样便于查找了解学生的各方面情况，为奖学金的评定，大四时学校向招聘单位提供合适的就业人选提供了便利条件。

3、公开透明，做好各项评优工作，让所有学生满意。

每年的评优工作都是广大学生关注的焦点，评优结果的公平与否也关系着学生对我们学生工作的信任和认可。因此，我对评优工作都给予了高度的重视，在严格按照学院有关标准进行评比的同时，加大了评比标准的宣传力度，让所有同学都了解评比标准。同时对各项优秀的评选办法进行了完善和补充，使评选工作更能有章可循。

4、做好奖助学金的评定工作

奖学金是对学生的肯定和褒奖，对学生意义重大。因此公平公正地评定奖助学金是鼓励学生学习的一种重要手段。我们在评定时，组成评委会，评委会成员由大家信任的同学担任，严格按照同学们的学习成绩和各方面的表现来评定奖助学金。

三、不足之处

1、在平日的工作中，事务性工作较多，缺少系统的理论学习；

2、对学生的引导作用还不够，学生中存在的厌学、不团结等现象不能够完全杜绝。 一学期的工作即将结束，但对于我的职业生涯来说，今后要走的路还很长，要学习完善的地方还有很多。在今后的工作中，我将继续踏实苦干、锐意进取，以辅导员的职责严格要求自己，尽最大努力为学院的跨越式发展奉献出自己的光和热。

第五篇：薄膜物理与技术要点总结

最可几速率:根据麦克斯韦速率分布规律,可以从理论上推得分子速率在vm处有极大值,vm称为最可几速率2kt?2rt?1.rt

?,vm速度分布平均速度:ktm?m?1.rt,分子运动平均距离 均方根速度:?1.平均动能真空的划分：粗真空、低真空、高真空、超高真空。

真空计：利用低压强气体的热传导和压强有关； (热偶真空计)利用气体分子电离；（电离真空计）

真空泵：机械泵、扩散泵、分子泵、罗茨泵机械泵：利用机械力压缩和排除气体

扩散泵:利用被抽气体向蒸气流扩散的想象来实现排气作用 分子泵:前级泵利用动量传输把排气口的气体分子带走获得真空

第二章

1.什么是饱和蒸气压？蒸发温度？

饱和蒸气压：在一定温度下，真空室内蒸发物质的蒸气与固体或液体平衡过程中所表现出的压力

蒸发温度：物质在饱和蒸气压为10-2托时的温度。

2.克--克方程及其意义？

克-克方程dp??dth?，可以知道饱和蒸气压和温度的关系，对于薄膜的制作技术有重要实际意义, 帮助我们合理地选择t(vg?vs)

蒸发材料和确定蒸发条件.

3.蒸发速率、温度变化对其的影响？在蒸发源以上温度蒸发，蒸发源温度的微小变化即可以引起蒸发速率发生很大变化。

4.平均自由程与碰撞几率的概念?气体分子处于不规则的热运动状态,每个气体分子在连续两次碰撞之间的路程称为“自由程”,其统计平均值称为“平均自由程”.蒸发材料分子能与真空室中残余气体分子相互碰撞的数目占总的蒸发材料分子的百分数

5.点蒸发和小平面蒸发源特性？

点蒸发源：能够从各个方向蒸发等量材料 小平面蒸发源：发射具有方向性，使在?角方向蒸发的材料质量和cos?成正比。

6.拉乌尔定律？如何控制合金薄膜的组分？

拉乌尔定律：在定温下，在稀溶液中，溶剂的蒸气压等于纯溶剂蒸气压乘以溶液中溶剂的物质的量分数 。为保证薄膜组成，经常采用瞬时蒸发法、双蒸发源法（将要形成合金的每一成分，分别装入各自的蒸发源中，然后独立地控制其蒸发速率，使达到基板的各种原子符合组成要求。）

7.mbe的特点？

（1）是以系统中的四级质谱仪、原子吸收光谱等仪器,精密的监测分子束的强度和种类,从而严格控制生长过程和生长速率

（2）膜的组分和掺杂浓度可随源的变化迅速做出调整。

（3）衬底温度低，降低了界面上热膨胀引起的晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂扩散影响。

（4）是一个动力学过程，它可以生长按照普通热平衡生长方法难以生长的薄膜。

（5）生长速率低，有利于实现精确控制厚度、结构与成分和形成陡峭异质结

（6）可用多种分析仪器实时观察生长面上的成分、结构和生长过程，有利于科学研究

8.膜厚的定义？监控方法？膜厚的定义，应该根据测量的方法和目的来决定。 称重法（微量天平法石英晶体振荡法）电学方法（电阻法 电容法 电离式监控记法）光学方法（光吸收法 光干涉法等厚干涉条纹法） 触针法（差动变压器法阻抗放大法压电元件法

第三章

1.溅射镀膜和真空镀膜的特点？1.任何物质都可以溅射，尤其是高熔点、低蒸气压元素化合物2.溅射膜和基板的附着性好

3.溅射镀膜密度高，针孔少，且膜层的纯度较高4.膜度可控性和重复性好

2.正常辉光放电和异常辉光放电的特征

正常辉光放电：在一定电流密度范围内，放电电压维持不变。

异常辉光放电：电流增大时，放电电极间电压升高，且阴极电压降与电流密度和气体压强有关。

3.射频辉光放电的特点？

1.在辉光放电空间产生的电子可以获得足够的能量，足以产生碰撞电离；2.由于减少了放电对二次电子的依赖，降低了击穿电压；3.射频电压可以通过各种阻抗偶合，所以电极可以是非金属材料。

4.溅射的概念及溅射参数？

溅射是指荷能粒子轰击固体表面（靶），使固体原子或者分子从表面射出的现象。

1.溅射阈值2.溅射率及其影响因素3.溅射粒子的速度和能量分布4.溅射原子的角度分布5.溅射率的计算

5.溅射机理？

1.溅射率随入射离子能量增大而增大,在离子能量达到一定程度后,由于离子注入效应,溅射率减小；2.溅射率的大小与入射离子的质量有关；3.当入射离子能量小于溅射阈值时，不会发生溅射；

4.溅射原子的能量比蒸发原子大许多倍；5.入射离子能量低时，溅射原子角度分布不完全符合余弦定律，与入射离子方向有关；6.电子轰击靶材不会发生溅射现象。

6.二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理？

二极直流溅射靶材为良导体,依靠气体放电产生的正离子飞向阴极靶，一次电子飞向阳极，放电依靠正离子轰击阴极所产生的二次电子，经阴极加速后被消耗补充的一次电子维持。

三极或四极溅射:热阴极发射的电子与阳极产生等离子体,靶相对于该等离子体为负电位.为把阴极发射的电子全部吸引过来，阳极上加正偏压，20v左右。为使放电稳定，增加第四个电极——稳定化电极.

偏压溅射:基片施加负偏压,在淀积过程中，基片表面将受到气体粒子的稳定轰击，随时消除可能进入薄膜表面的气体，有利于提高薄膜纯度，并且也可除掉粘除力弱的淀积粒子，对基片进行清洗，表面净化，还可改变淀积薄膜的结构。

射频溅射:可以用射频辉光放电解释。等离子体中的电子容易在射频场中吸收能量并在电场内振荡，与工作气体的碰撞几率增大，从而使击穿电压和放电电压显著降低。

磁控溅射：使用了磁控靶,施加磁场来改变电子的运动方向，束缚并延长电子运动轨迹，进而提高电子对工作气体的电离效率和溅射沉积率。在阴极靶的表面上形成一个正交的电磁场。 溅射产生的二次电子在阴极位降区内被加速成为高能电子，但是它并不直接飞向阳极，而在电场和磁场的作用下作摆线运动。高能电子束缚在阴极表面与工作气体分子发生碰撞，传递能量，并成为低能电子。

离子束溅射:离子源、屏蔽罩。由大口径离子束发生源引出惰性气体，使其照射在靶上产生建设作用，利用溅射出的粒子淀积在基片上制得薄膜。

第四章

1.离子镀膜的优缺点？

优点：（1）膜层的附着性好。利用辉光放电产生的大量高能粒子对基片进行清洗，在膜基界面形成过渡层或膜材与基材的成分混合层，有效的改善膜层的附着性能（2）膜层的密度高（通常和大块材料密度相同）。（3）绕射性能好。（4）可镀材质范围广泛（5）有利于化合物膜层的形成（6）淀积速率高，成膜速率快，可镀较厚的膜。

缺点：（1）膜层的缺陷密度高（2）高能粒子轰击基片温度高，需要进行冷却。

2.离子镀膜系统工作的必要条件？

必要条件：造成一个气体放电的空间；将镀料原子(金属原子或非金属原子)引进放电空间，使其部分离化。

成膜条件： n?nj

3.离子镀膜技术的分类？

直流二极型离子镀、三极和多阴极型离子镀、活性反应离子镀膜、射频离子镀膜技术、

4.直流二极溅射、三极和多阴极离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀的原理和特点？

直流二极型离子镀是利用二极间的辉光放电产生离子、并由基板所加的负电压对其加速。

特点：轰击离子能量大，引起基片温度升高，薄膜表面粗糙，质量差；工艺参数难于控制。设备简单，技术容易实现，用普通真空镀膜机就可以改装，因此也具有一定实用价值。附着力好。

三极和多阴极型离子镀

特点：可实现低气压下的离子镀膜，镀膜质量好，光泽致密；多阴极方式中，阴极电压在200v就能在10-3 torr左右开始放电；改变辅助阴极(多阴极)的灯丝电流来控制放电状态；灯丝处于基板四周，扩大了阴极区、改善了绕射性，减少了高能离子对工件的轰击作用.

活性反应离子镀：并用各种不同的放电方式使金属蒸气和反应气体的分子、原子激活、离化、使其活化，促进其间的化学反应，在基片表面就可以获得化合物薄膜

特点：增加了反应物的活性，在温度较低的情况下就能获得附着性能良好的碳化物、氮化物薄膜；可以在任何材料上制备薄膜，并可获得多种化合物薄膜；淀积速率高；调节或改变蒸发速率及反应气体压力可以十分方便地制取不同配比、不同结构、不同性质的同类化合物；由于采用了大功率、高功率密度的电子束蒸发源，几乎可以蒸镀所有金属和化合物；清洁，无公害。 射频离子镀：通过分别调节蒸发源功率、线圈的激励功率、基板偏压等，可以对上述三个区域进行独立的控制，由此可以在一定程度上改善膜层的物性。

特点：蒸发、离化、加速三种过程可分别独立控制，离化率靠射频激励，基板周围不产生阴极暗区；较低工作压力下也能稳定放电，而且离化率较高，薄膜质量好；容易进行反应离子镀；基板温升低而且较容易控制；工作真空度较高，故镀膜的绕射性差，射频对人体有害；可以制备敏感、耐热、耐磨、抗蚀和装饰薄膜。

第五章

1.cvd热力学分析的主要目的？

cvd热力学分析的主要目的是预测某些特定条件下某些cvd反应的可行性（化学反应的方向和限度）。在温度、压强和反应物浓度给定的条件下，热力学计算能从理论上给出沉积薄膜的量和所有气体的分压，但是不能给出沉积速率。热力学分析可作为确定cvd工艺参数的参考

2.cvd过程自由能与反应平衡常数的过程判据？?gr与反应系统的化学平衡常数 kp 有关。 ?gr??2.3rtlogkpnmkp?pi(生成物)p（反应物）ji?1j?1??

3.cvd热力学基本内容？反应速率及其影响因素？

按热力学原理，化学反应的自由能变化? gr可以用反应物和生成物的标准自由能?gf

?gf(生成物)??gf(反应物)来计算，即? gr?

?e?较低衬底温度下， τ随温度按指数规律变化。较高衬底温度下，反应物及副产物的扩散速率为决定反应速率??aert

的主要因素。

4.热分解反应、化学合成反应及化学输运反应及其特点？

热分解反应：在简单的单温区炉中，在真空或惰性气体保护下加热基体至所需温度后，导入反应物气体使之发生热分解，最后在基体上沉积出固体图层。

特点：主要问题是源物质的选择和确定分解温度。选择源物质考虑蒸气压与温度的关系，注意在该温度下的分解产物中固相仅为所需沉积物质。

化学合成反应：化学合成反应是指两种或两种以上的气态反应物在热基片上发生的相互反应。

特点：比热分解法的应用范围更加广泛。可以制备单晶、多晶和非晶薄膜。容易进行掺杂。

化学输运反应：将薄膜物质作为源物质（无挥发性物质），借助适当的气体介质与之反应而形成气态化合物，这种气态化合物经过化学迁移或物理输运到与源区温度不同的沉积区，在基片上再通过逆反应使源物质重新分解出来，这种反应过程称为化学输运反应。

? t = t特点：t1 ?2不能太大；平衡常数kp接近于1。

5.cvd的必要条件？

1.在沉积温度下，反应物具有足够的蒸气压，并能以适当的速度被引入反应室；

2.反应产物除了形成固态薄膜物质外，都必须是挥发性的；3.沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压，

6.什么是冷壁cvd？什么是热壁cvd？特点是什么？

冷壁cvd：器壁和原料区都不加热，仅基片被加热，沉积区一般采用感应加热或光辐射加热。缺点是有较大温差，温度均匀性问题需特别设计来克服。适合反应物在室温下是气体或具有较高蒸气压的液体。

热壁cvd：器壁和原料区都是加热的，反应器壁加热是为了防止反应物冷凝。管壁有反应物沉积，易剥落造成污染。

7.什么是开管cvd？什么是闭管cvd？特点是什么？

开口cvd的特点：能连续地供气和排气； 反应总处于非平衡状态；在大多数情况下，开口体系是在一个大气压或稍高于一个大气压下进行的；开口体系的沉积工艺容易控制，工艺重现性好，工件容易取放，同一装置可反复多次使用；有立式和卧式两种形式。

闭管法的优点：污染的机会少，不必连续抽气保持反应器内的真空，可以沉积蒸气压高的物质。缺点：材料生长速率慢，不适合大批量生长，一次性反应器，生长成本高；管内压力检测困难等。关键环节：反应器材料选择、装料压力计算、温度选择和控制等。

8.什么是低压cvd和等离子cvd？

低压cvd:气相输运和反应.低压下气体扩散系数增大,使气态反应物和副产物的质量传输速率加快,形成薄膜的反应速率增加 等离子cvd:等离子体参与的利用在等离子状态下粒子具有的较高能量,使沉积温度降低化学气相沉积称为等离子化学气相沉积。

第六章

1.什么是化学镀？它与化学沉积镀膜的区别？

化学镀膜是指在还原剂的作用下，使金属盐中的金属离子还原成原子，在基片表面沉积的镀膜技术，又称无电源电镀。化学镀不加电场、直接通过化学反应实现薄膜沉积。

化学镀膜的还原反应必须在催化剂的作用下才能进行，且沉积反应只发生在基片表面上。

化学沉积镀膜的还原反应是在整个溶液中均匀发生的，只有一部分金属在基片上形成薄膜，大部分形成粉粒沉积物。

2.自催化镀膜的特点？

1.可以在复杂形状表面形成薄膜；2.薄膜的孔隙率较低；3.可直接在塑料、陶瓷、玻璃等非导体表面制备薄膜；4.薄膜具有特殊的物理、化学性能；5.不需要电源，没有导电电极。

3.sol-gel镀膜技术的特点和主要过程？

优点：高度均匀性；高纯度；可降低烧结温度；可制备非晶态薄膜；可制备特殊材料（薄膜、纤维、粉体、多孔材料等）。 缺点：原料价格高；收缩率高，容易开裂；存在残余微气孔；存在残余的羟基、碳等；有机溶剂有毒。

主要过程：复合醇盐的制备；成膜（匀胶、浸渍提拉）；水解和聚合；干燥；焙烧。

4.阳极氧化镀膜和电镀的原理和特点？

金属或合金在适当的电解液中作为阳极，并施加一定的直流电压，由于电化学反应在阳极表面形成氧化物薄膜的方法，称为阳极氧化技术。特点： 得到的氧化物薄膜大多是无定形结构。由于多孔性使得表面积特别大，所以显示明显的活性，既可吸附染料也可吸附气体；化学性质稳定的超硬薄膜耐磨损性强，用封孔处理法可将孔隙塞住，使薄膜具有更好耐蚀性和绝缘性；利用着色法可以使膜具有装饰效果。 ??

电镀的特点：膜层缺陷：孔隙、裂纹、杂质污染、凹坑等；上述缺陷可以由电镀工艺条件控制； 限制电镀应用的最重要因素之一是拐角处镀层的形成；在拐角或边缘电镀层厚度大约是中心厚度的两倍；多数被镀件是圆形，可降低上述效应的影响。

5.什么是lb技术？lb薄膜的种类？lb薄膜的特点？

（lb技术）是指把液体表面的有机单分子膜转移到固体衬底表面上的一种成膜技术。得到的有机薄膜称为lb薄膜。 种类：x型膜（薄膜每层分子的亲油基指向基片表面）、y型膜（薄膜每层分子的亲水基与亲水基相连，亲油基与亲油基相连）、z型膜（薄膜每层分子的亲水基指向基片表面）

优点：lb薄膜中分子有序定向排列,这是一个重要特点;很多材料都可以用lb技术成膜,lb膜有单分子层组成，它的厚度取决于分子大小和分子的层数;通过严格控制条件,可以得到均匀、致密和缺陷密度很低的lb薄膜;设备简单，操作方便

缺点：成膜效率低；lb薄膜均为有机薄膜，包含了有机材料的弱点；lb薄膜厚度很薄，在薄膜表征手段方面难度较大。

第七章

1.薄膜形成的基本过程描述？

薄膜形成分为：凝结过程、核形成与生长过程、岛形成与结合生长过程。

2.什么是凝聚？入射原子滞留时间、平均表面扩散时间、平均扩散距离的概念？

凝聚：吸附原子结合成原子对及其以后的过程

入射原子滞留时间：入射到基体表面的原子在表面的平均滞留时间?a与吸附能ed之间的关系为?a??0exp(ed/kt)平均表面扩散时间：吸附原子在一个吸附位置上的停留时间称为平均表面扩散时间，用?d表示。它和表面扩散能ed之间的关系是?d??0'exp(ed/kt)。

平均扩散距离：吸附原子在表面停留时间经过扩散运动所移动的距离（从起始点到终点的间隔）称为平均表面扩散时间，并用x表示，它与吸附能ed和扩散能ed之间的关系为x?a0exp??ed?ed?/kt?

3.什么是捕获面积？对薄膜形成的影响？

捕获面积：吸附原子的捕获面积 sd?nno

s当 ?? 2 时，每个吸附原子的捕获面积内只有一个原子，故不能形成原子对，也不能产生凝结。当1?s ? ?2时，发生部分凝结。平均每个吸附原子的捕获面积内有一个或两个吸附原子，可形成原子对或三原子团。在滞留时间内，一部分吸附原子有可能重新蒸发掉。当 s ?? 1 时，每个吸附原子的捕获面积内至少有两个吸附原子。可形成原子对或更大的原子团，从而达到完全凝结。

4.凝聚过程的表征方法？

凝结系数（单位时间内，完全凝结的气相原子数与入射到基片表面上的总原子数之比）、粘附系数（单位时间内，再凝结的气相原子数与入射到基片表面上的总原子数之比）、热适应系数（表征入射气相（或分子）与基体表面碰撞时相互交换能量的程度的物理量称为热适应系数）。

5.核形成与生长的物理过程。岛状生长模式、层状生长模式、层岛混合模式

6.核形成的相变热力学和原子聚集理论的基本内容？

认为薄膜形成过程是由气相到吸附相、再到固相的相变过程，其中从吸附相到固相的转变是在基片表面上进行的。

原子聚集理论将核（原子团）看作一个大分子聚集体，用其内部原子之间的结合能或与基片表面原子之间的结合能代替热力学理论中的自由能。

7.什么是同质外延、异质外延？晶格失配度？

外延工艺是一种在单晶衬底的表面上淀积一个单晶薄层的方法。如果薄膜与衬底是同一种材料该工艺被称为同质外延，常被简单地称为外延。如果薄膜与衬底不是同一种材料该工艺被称为异质外延，常被简单地称为外延。

晶格失配度若沉积薄膜用的基片材料的晶格常数为a，薄膜材料的晶格常数为b，在基片上外延生长薄膜的晶格失配数m可用下式表示m?b?a。 a

8..形成外延薄膜的条件？

?设沉积速率为r，基片温度为t ，?e薄膜生长速率要小于吸附原子在基片表面上的迁移速率；提高r?a?exp??d ?温度有利于形成外延薄膜 ?kt?

第八章

1.薄膜结构是指哪些结构？其特点是哪些？

薄膜的结构按研究对象不同分为组织结构、晶体结构、表面结构。（1）组织结构是指薄膜的结晶形态，包括无定形结构、多晶结构、纤维结构、单晶结构。无定形结构：结构特性：近程有序、长程无序；不具备晶体的性质；亚稳态。晶界上存在晶格畸变；界面能：界面移动造成晶粒长大和界面平直化；空位源：杂质富集；纤维结构薄膜是指晶粒具有择优取向的薄膜

（2）晶体结构：多数情况下，薄膜中晶粒的晶格结构与体材料相同，只是晶粒取向和晶粒尺寸不同，晶格常数也不同。薄膜材料本身的晶格常数与基片材料晶格常数不匹配；

薄膜中有较大的内应力和表面张力。

（3）表面结构：薄膜表面形成过程，由热力学能量理论，薄膜表面平化；晶粒的各向异性生长，薄膜表面粗化；低温基片上，薄膜形成多孔结构。

2.蒸发薄膜微观结构随温度变化如何改变？

低温时，扩散速率小，成核数目有限，形成不致密带有纵向气孔的葡萄结构；随着温度升高，扩散速率增大，形成紧密堆积纤维状晶粒然后转为完全之谜的柱状晶体结构；温度再升高，晶粒尺寸随凝结温度升高二增大，结构变为等轴晶貌；

3.薄膜的主要缺陷类型及特点？

薄膜的缺陷分为：点缺陷（晶格排列出现只涉及到单个晶格格点，典型构型是空位和填隙原子，点缺陷不能用电子显微镜直接观测到，点缺陷种类确定后，它的形成能是一个定值）、位错（在薄膜中最常遇到，是晶格结构中一种“线性”不完整结构，位错大部分从薄膜表面伸向基体表面，并在位错周围产生畸变）、晶格间界（薄膜由于含有许多小晶粒，故晶粒间界面积比较大）和层错缺陷（由原子错排产生，在小岛间的边界处出现，当聚合并的小岛再长大时反映层错缺陷的衍射衬度就会消失）。

4.薄膜的主要分析方法有哪些？基本原理是什么？

（1）x射线衍射法。利用x射线晶体学，x射线束射到分析样品表面后产生反射，检出器收集反射的x射线信息，当入射x射线波长?、样品与x射线束夹角?、及样品晶面间距d满足布拉格方程2dsin??n?，检测器可检测到最大光强。

（2）电子衍射法。在透射电子显微镜下观察薄膜结构同时进行电子衍射分析，电子束波长比特征x射线小得多，利用l??rd，求出晶格面间距。

（3）扫描电子显微镜分析法。将样品发射的特征x射线送入x射线色谱仪或x射线能谱仪进行化学成分分析，特征x射线波长?和原子序数z满足莫塞莱定律c/??k(z??)，只要测得x射线的波长，进而测定其化学成分。

（4）俄歇电子能谱法。俄歇电子的动能为e，由能量守恒定律ek-el1=el23+e，近似el1=el23，得俄歇电子的动能e=ek-2el。对于每种元素的原子来说，el1、el23都有不同的特征值，只要测出电子动能e，就可以进行元素鉴定。利用俄歇电子能谱法中的化学位移效应不但可以鉴定样品的组分元素还可鉴定它的化学状态。

（5）x射线光电子能谱法。x射线入射到自由原子的内壳层上，将电子电离成光电子，有电子能量分析测得光电子束缚能，不同源自或同一原子的不同壳层有不同数量的特征值。可以通过元素鉴定测出。

（6）二次离子质谱法。二次离子质谱是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素，并能给出同位素的信息，分析化合物组分和分子结构。